臭氧氧化脫硝技術是在煙氣進入脫硫塔前，利用臭氧強制氧化煙氣中的 NOx，使其轉化為易溶于水的高價氮氧化物，然后在脫硫塔里，溶于水生成硝酸，并與脫硫塔循環(huán)漿液中的堿性物質反應生成鹽類，從而達到脫硝的目的。

采用臭氧氧化脫硝技術可得到較高的 NOx 脫除率，一般為 70%～90%，并且可在不同的 NOx 濃度和 NO、NO2 的比例下保持高 NOx 脫除率。在脫硫塔內，未與 NOx 反應的臭氧（O3）把亞硫酸鹽氧化為硫酸鹽而被除去，所以不存在類似 SCR 氨（NH3）逃逸一樣的臭氧（O3）泄漏問題。

在臭氧氧化脫硝技術中，SO2 和 CO 的存在不影響 NOx 的去除，同時也不會影響其他污染物控制技術。以羅塔斯(LoTOx?)臭氧氧化技術為例，它是低溫氧化脫硝技術(Low Temperature Oxidation)的一種。臭氧可以在現(xiàn)場由臭氧發(fā)生器直接生成。因為羅塔斯技術 (LoTOx?)是低溫處理技術，故在流程中不需象 SNCR 和 SCR 一樣較高溫度的煙氣。

這個流程不使用氨，因此避免了在下游熱轉換階段出現(xiàn)硫酸銨/ 重硫酸銨的沉淀。羅塔斯技術(LoTOx?)甚至可以處理低于 300 ℉的煙氣，它在濕洗系統(tǒng)里飽和溫度下操作非常有效。